氣體質(zhì)量流量控制器 庫存 庫號：M390287 氣體質(zhì)量流量控制器 庫存 庫號：M390287
產(chǎn)品特點 安裝方便,無安裝位置和直管段要求,操作簡單,可配合流量顯示儀或其他顯示儀表使 用,也可通過模擬數(shù)字信號轉(zhuǎn)換器( AD/DA轉(zhuǎn)換器)配合使用。 流量規(guī)格(N2標(biāo)定) 0~ 5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM 0~ 1.,2,3,5,10,20,30 SLM 注:滿量程流量不限于此處列出的流量規(guī)格,可以在5SCCM ~ 30SLM范圍內(nèi)任選,例如123SCCM。 輸入輸出信號 0~ +5.00V (輸入阻抗大于100kQ ,輸出電流不大于3mA) 流量規(guī)格1:（N2)產(chǎn)品特點 本產(chǎn)品具有穩(wěn)定、響應(yīng)時間短、標(biāo)定精度和重復(fù)精度高等優(yōu)點,安裝方便,無安裝位置和直管段要求,操作簡單,可配合流量顯示儀或其他顯示儀表使 用,也可通過模擬數(shù)字信號轉(zhuǎn)換器( AD/DA轉(zhuǎn)換器)配合使用。 流量規(guī)格(N2標(biāo)定) 0~ 5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM 0~ 1.,2,3,5,10,20,30 SLM 注:滿量程流量不限于此處列出的流量規(guī)格,可以在5SCCM ~ 30SLM范圍內(nèi)任選,例如123SCCM。 輸入輸出信號 0~ +5.00V (輸入阻抗大于100kQ ,輸出電流不大于3mA) 流量規(guī)格：0-5 10 20 30 50 100 200 300 500 SCCM 調(diào)節(jié)閥類型：常閉型 量程比：2-100%FS或者50:1 流量分辨率：0.1%FS 準確度：1%FS 小于15SLM 2%FS 大于15SLM 線性：0.5%FS 小于15SLM 2%FS 大于15SLM 重復(fù)精度：0.2%FS 相應(yīng)時間：小于2S 工作壓差范圍：0.1-0.5MPA 小于10SLM 0.1-0.3MPA 大于10SLM 大耐壓：3MPA 工作環(huán)境：5-45度 電纜接頭：DB15pin(針形） 輸入輸出信號：0-5V（輸入抗阻大于100K歐 輸出電流不大于3MA） 供電電源要求：+15VDC 80MA -15VDC 2000MA
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